半导体加工高温烤箱是实现高温热处理、干燥、固化等关键工艺的核心设备。选型时应围绕温度上限、均匀性、容量、控制精度以及安全防护等要素综合评估。

半导体加工高温烤箱概览

高温烤箱（又称高温烘箱、热风循环烤箱）是一种能够在较宽温度区间内提供稳定、均匀热场的设备，广泛用于实验室、工业、食品加工、航空航天等领域的干燥、固化、热处理和材料性能测试。

关键技术参数

常见应用场景

1. 材料科学与热处理：金属热处理、陶瓷烧结、复合材料固化、航空航天材料老化测试（如皓天的冷热冲击箱）。

2. 实验室分析：样品前处理、残留溶剂烘干、热重分析前的预烘、微波/蒸烤一体机用于食品科学实验。

3. 工业生产：电子元件烘干、塑料预热、油漆固化、医药原料干燥（Carbolite Gero HT、LHT 系列）。

4. 食品加工：烘焙、烤制、微蒸烤一体机实现高温烘烤与蒸汽保湿，提升口感与保鲜。

5. 质量检测：高温箱式炉用于检测材料在温度下的性能（RHF 系列）。

其他选型要点

• 温度均匀性：对精密材料或薄膜工艺尤为关键，建议查看均匀性数据（±2 % – ±5 %）。

• 安全防护：超温保护、门阻尼、观察窗是必须；高温箱式炉常配有防护门和自动切断功能。

• 能耗与保温：高效压缩玻璃棉、低功率待机模式可降低运行成本（如皓天的节能设计）。

• 配件兼容：可选坩埚架、抽屉、温度探针、数据记录仪等，依据实验需求选配。

 半导体加工高温烤箱维护与使用小贴士

1. 定期校准温度传感器，确保 ±0.5 °C 精度。

2. 清洁加热元件与风道，防止油污导致局部过热。

3. 使用防护手套和防护眼镜，尤其在高于 800 °C 的操作。

4. 开启观察窗或使用摄像监控，便于实时监控样品状态。

5. 记录每次运行的温度曲线，便于追溯和工艺优化（多数型号支持数据导出）。